SPM探針制造技術(shù)的研究和發(fā)展
發(fā)布日期：2008-09-01
瀏覽數(shù)：958
【作者】：傅惠南 ，王宏霞，王曉紅，區(qū)仲榮 【單位】：廣東工業(yè)大學機電學院，廣東 廣州 510090 【摘要】： 探針是掃描探針顯微鏡的核心部分，結(jié)構(gòu)及針尖的表面狀態(tài)會影響此類儀器的操作性、可控制性、工作穩(wěn)定性、可靠性以及其它性能的發(fā)揮。探針及其相關(guān)技術(shù)的研究進展成為人們十分關(guān)注的問題。探針對表面物理信息的檢測是一個針尖與試樣表面相互作用的過程，包含物理、幾何關(guān)系，還包含表面微觀化學作用及其它微觀因素的影響。本文探討探針與表面相互作用關(guān)系，并就近些年探針技術(shù)發(fā)展討論探針性能?p針尖及相應結(jié)構(gòu)的改進，探針功能的拓展以及功能的組合，討論相關(guān)制備技術(shù)方法、特點和相應檢測條件、適用環(huán)境等。
