電子顯微學的特點與可解決的問題
發(fā)布日期:2007-10-15
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同其他結構表征手段相比,電子顯微學具有以下幾個方面的優(yōu)點 一、 散射能力強: 二、 原子對電子的散射能量遠大于X-射線的散射能力: 即使是微小晶粒(納米晶體)亦可給出足夠強的衍射 動力學衍射和吸收強,只能穿透薄樣品 三、 波長短: Ewald球半徑大,衍射圖有如一個倒易點陣平面 直觀,容易發(fā)生新衍射現(xiàn)象 d值精度差 四、 束斑可聚焦: 會聚束衍射(納米束衍射),可獲得三維衍射信息,有利于分析點群、空間群對稱性; 局域結構 五、 成像:正空間信息: 直接觀察結構缺陷 直接觀察原子團(結構像) 直接觀察原子(原子像),包括Z襯度像 六、 衍射:倒空間信息: 選擇衍射成像(衍襯像),獲得明場、暗場像有利結構缺陷分析 從結構像可能推出相位信息 七、 成分分析:微區(qū)分析 X射線能譜分析(EDS) 特征電子能量損失譜(EELS) 元素分布像(Element Mapping) 八、 電子全息: 電子波全部信息(相位和振幅) 微觀電場、磁場分布 微觀應力場分布 九、 全部分析結果的數(shù)字化: 數(shù)據(jù)數(shù)字化,便于計算機存儲與處理,與信息平臺接軌 電子顯微學不僅是X射線晶體學的強有力補充,特別適合微晶、薄膜等顯微結構分析,對于局域微結構分析、尤其是納米結構分析具有獨特的優(yōu)勢